Oliorik gabeko aire-konpresorea Erdieroaleen laborategietarako

Doitasun-ikerketa-instalazioetarako erabilgarritasun-lerro fidagarriak ezartzeko, Semiconductor Labs hornitzaileentzako Txinako Oliorik gabeko Aire Konpresorearen iturria. DECHUANen purutasun handiko aire-soluzioek geruza anitzeko karbono isolatzeko zigiluak erabiltzen dituzte aztarnak hidrokarburoak ezabatzeko, eta siliziozko grabaketa kritikorako gas kalitatea bermatuz.

Gela garbiko gasaren garbitasun-baldintza kritikoak

Erdieroaleen fabrikazioan eta film meheko litografian, aire-lerroan zehar eramandako olio-lurrun tanta mikroskopiko batek ere produkzio-sorta osoa honda dezake. Produktu espezializatu hau garbitasun estandar gorenak betetzeko diseinatuta dago:

• TÜV Certified Class 0 Air Delivery: Gure sistemek proba zorrotzak egiten dituzte funtzionamendu-tenperatura aldakorretan. Analisi independenteak irteerako aire-korrontean petrolio-arrasto erabat zero berresten du.

• Korrosiorik gabeko Barneko Aire Ibilbideak: konpresio-ganberaren azpian dagoen hoditeria, sorta freskoagoa eta bereizketa-matrize bakoitza altzairu herdoilgaitzezko lehen mailako altzairuz egina dago, herdoil-malutak gela garbiko aire-lerroak kutsa ez ditzan.

• Elektronikon® Integrazio Aurreratua: Kontroladore integratuak neurketa operatiboak gertutik jarraitzen ditu eta segurtasun-itentze proaktiboak ditu laborategiko sarean aire ezpururik sartzen ez dela ziurtatzeko.

Elektronikan mikro-kutsaduraren kostu handia

Erdieroaleen obleen fabrikazioan, olio-aerosol tanta bakar batek gela garbiko ingurune oso bat kutsa dezake, milaka silizio oble hondatuz eta milioika produkzio-denbora galduz. Aire-konpresore tradizionalek ezin dute bermatu nanometriko eskalako prozesu horietarako beharrezkoa den zero-hidrokarburoen erabateko purutasuna.

Erdieroaleen laborategietarako oliorik gabeko aire-konpresore espezializatuak prozesuen segurtasun hutsa bermatzen du:

• KLASE 0 Aire Fluxu Ziurtagiria: TÜV-k zorrotz probatu du muturreko termiko eta presio-tarteetan, olioaren presentzia zero absolutua ziurtatzeko.

• Partikularik gabeko barneak: altzairu herdoilgaitzezko aurrehozgailuek eta izar-hegats bero-trukagailuek oxidazio malutak edo isurketa kimikoak ezabatzen dituzte airearen bidearen barruan.

• Monitorizazio Elektronikoa Ezkutu: Mantentze-alarma proaktiboek eta matxuraren itzaltze automatikoek sistemaren desbideratzeak saihesten dituzte gela garbiko tresnetara iritsi aurretik.

Garbitasun-parametro teknikoak

• Sistemaren potentzia: 55kw - 900kw dentsitate handiko konfigurazioak.

• Entrega-tasa bolumetrikoa: 4,2 - 148,5 m³/min korronte garbiaren irteera.

• Olio Edukiaren Sailkapena: ISO 8573-1 0 Klasea guztiz oliorik gabeko balioztatzea.

• Hozte-diseinua: altzairu herdoilgaitzezko fluidoen hozte-gasatze kimikoa eragozten du.

Unitatearen errendimendu-erreferentzia-baldintzak ISO 1217 C eranskinaren 4. edizioaren (2009) arabera neurtu ziren:

· Hezetasun erlatiboa: %0

· Sarrerako presio absolutua: 1 bar

· Sarrerako tenperatura: 20°C Deskarga-tasa (FAD) funtzionamendu-presio hauetan neurtu da:

Abiadura konstante mota:

·  -7,5 bar mota: 7 bar

· -8,6 bar mota: 7 bar

· -10 bar mota: 9 bar

VSD mota:

· -8,6 bar mota: 7 bar

· -10,4 bar mota: 9 bar

· (2) Lanpostuaren A Klaseko igorpen soinu-presio maila haztatua (LpWSAd). ISO 2151:2004 arauaren arabera neurtua (150 9614/2 soinuaren intentsitatea aztertzeko metodoa erabiliz). Gehitu berri den zuzenketa-faktorea guztiz ziurgabeko balio bat da (KpAd), proba-kodearekin bat datorrena.

· (3) Pisua erreferentziarako soilik da; emandako benetako pisua izango da nagusi.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

ISO 1217 C Eranskina, 4. Edizioa (2009) arabera, unitatearen errendimenduaren erreferentzia-baldintzak hauek dira:

· Hezetasun erlatiboa: %0

· Sarrerako presio absolutua: 1 bar

· Sarrerako tenperatura: 20°C

Desplazamendua FAD funtzionamendu-presio hauetan neurtzen da:

Abiadura konstanteko ereduak:

-7,5 bar modeloak: 7 bar

-8,6 bar modeloak: 7 bar

-10 bar modeloak: 9 bar

VSD ereduak:

-8,6 bar modeloak: 7 bar

-10,4 bar modeloak: 9 bar

(2) Lanpostuaren soinu-presio-maila haztaturiko A klaseko igorpena (LpWSAd). ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 soinuaren intentsitatea aztertzeko metodoa) arabera neurtua. Gehitu berri den KpAd zuzenketa-faktorea ez da ziurra, proba-kodea betetzen du.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Pisua erreferentziarako soilik da; benetako pisua izango da nagusi.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Hezetasun erlatiboa:% 0

-Sarrerako presio absolutua: 1bar

-Sarrerako tenperatura: 20°℃

Deskarga-tasa (FAD) funtzionamendu-presio hauetan neurtu da

Abiadura konstante mota:

-7,5 bar mota: 7 bar

-8,6 bar mota: 7 bar

-10 bar mota: 9 bar

VSD mota:

-8,6 bar mota: 7 bar

-10,4 bar mota: 9 bar

(2) Lanpostuaren soinu-presio-maila haztaturiko A klaseko igorpena (LpWSAd).

ISO 2151:2004 arauaren arabera neurtua (150 9614/2 erabiliz (soinu-intentsitatea aztertzeko metodoa).

Gehitu berri den zuzenketa-faktorea guztiz ziurgabeko balio bat da (KpAd), proba-kodearekin bat datorrena.

(3) Pisua erreferentziarako soilik da; emandako benetako pisua izango da nagusi.

ZR 300-750

Unitatearen errendimendu-erreferentzia-baldintzak ISO 1217 C eranskinaren 4. edizioaren (2009) arabera neurtu ziren:

· Hezetasun erlatiboa: %0

· Sarrerako presio absolutua: 1 bar

· Sarrerako tenperatura: 20°C Deskarga-tasa (FAD) funtzionamendu-presio hauetan neurtu da:

Abiadura konstante mota:

·  -7,5 bar mota: 7 bar

· -8,6 bar mota: 7 bar

· -10 bar mota: 9 bar

VSD mota:

· -8,6 bar mota: 7 bar

· -10,4 bar mota: 9 bar

· (2) Lanpostuaren A Klaseko igorpen soinu-presio maila haztatua (LpWSAd). ISO 2151:2004 arauaren arabera neurtua (150 9614/2 soinuaren intentsitatea aztertzeko metodoa erabiliz). Gehitu berri den zuzenketa-faktorea guztiz ziurgabeko balio bat da (KpAd), proba-kodearekin bat datorrena.

· (3) Pisua erreferentziarako soilik da; emandako benetako pisua izango da nagusi.

ZR 200X-400X

Unitatearen errendimendu-erreferentzia-baldintzak ISO 1217 C eranskinaren 4. edizioaren (2009) arabera neurtu ziren:

· Hezetasun erlatiboa: %0

· Sarrerako presio absolutua: 1 bar

· Sarrerako tenperatura: 20°C Deskarga-tasa (FAD) funtzionamendu-presio hauetan neurtu da:

Abiadura konstante mota:

·  -7,5 bar mota: 7 bar

· -8,6 bar mota: 7 bar

· -10 bar mota: 9 bar

VSD mota:

· -8,6 bar mota: 7 bar

· -10,4 bar mota: 9 bar

· (2) Lanpostuaren A Klaseko igorpen soinu-presio maila haztatua (LpWSAd). ISO 2151:2004 arauaren arabera neurtua (150 9614/2 soinuaren intentsitatea aztertzeko metodoa erabiliz). Gehitu berri den zuzenketa-faktorea guztiz ziurgabeko balio bat da (KpAd), proba-kodearekin bat datorrena.

· (3) Pisua erreferentziarako soilik da; emandako benetako pisua izango da nagusi.

Gela garbiko laborategiko erabiltzaileen kasuaren azterketa

Asiako elektronika fabrikatzaile batek DECHUANen aire-sistema espezializatua instalatu zuen purutasun handiko nitrogenoa sortzeko begiztak eta proba pneumatikoko besoak hornitzeko. Aurretik, konpresore estandarrek olio-lurrunen arrastoak lineako iragazkiak igarotzen zituzten, litografia-lenteak estaltzen zituzten eta obleen estalduretan mikrohausturak eragin zituzten. Erdieroaleen laborategietarako oliorik gabeko aire-konpresorea instalatu ondoren, laborategiak olioarekin erlazionatutako linearen kutsadura-intzidentziarik ez duela jakinarazi zuen, gela garbien garbiketa eta birkalibrazio kostu handiak aurreztuz bi urteko etengabeko funtzionamenduan.

Osagai pertsonalizatuak egokitzea eta kontrolatzea

• Altzairu herdoilgaitzezko materialaren eguneratzea: barruko galdaketako osagai estandar guztiak kalitate handiko altzairu herdoilgaitzez ordezkatzen ditugu mikro-kutsaduraren jarraibide zorrotzak betetzeko.

• Komunikazio-protokolo aurreratuak: Unitatea komunikazio-protokolo espezializatuekin aurrez kargatuta dago, gela garbiko kontrol-zentroei airearen neurketak urrunetik kontrolatzeko aukera ematen diena.

• Egitura-aztarna trinkoa: barruko diseinua optimizatuta dago aztarna minimizatzeko, eta erraz instalatzen da laborategiko sotoko erabilgarritasun-espazio estuetan.

Industri erosleen ohiko galderak

G: Konpresore hau zuzenean konektatu al dezakegu purutasun ultra-altuko (UHP) iragazketa-begiztetara?

A: Bai, gure aire-irteera guztiz bateragarria da gela garbiko lehorgailu lehorgailu aurreratuekin eta mikro-azpiko partikulen iragazketa sistemekin. Aire gordinak zero olio-lurruna daukanez, zure erabilera-puntuko iragazki espezializatuak ez dira olio-lainoz beteko, iragazkien bizitza luzatuz.

G: Nola bermatzen dute Z motako zigiluak engranaje-multzotik zero olio-migrazioa?

A: Erdieroaleen Laborategietarako Oliorik gabeko Aire Konpresoreak atmosferako aire-espazio fisiko bat dauka olioz koipeztaturiko engranajeen karkasaren eta konpresio-ganbera lehorraren artean. Ukipenik gabeko karbono-eraztun-zigiluak presio negatiboko kanalekin konbinatzen dira, engranaje-olio-lainoa erabat blokeatuta dagoela ziurtatuz aire garbian sartzea.

G: Zer gertatzen da barneko tenperatura sentsore batek irakurketa anormal bat antzematen badu?

E: Elektronikon® kontrolagailuak ezinbesteko datuak hartzen ditu segundoko hainbat aldiz. Edozein fasetan tenperatura igoera bat hautematen bada, sistemak berehala itzali automatiko bat abiarazten du eta isolamendu-balbulak ixten ditu, hoztu gabeko airea zure laborategiko ekipamendu sentikorretara ez dela isurtzen bermatuz.